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132纳米激发光源,激发效率是193纳米光源的两倍多。
金属液锡的击打频率,从最开始的50次,500次,5000次,逐渐达到可以使用的2万次,最终追平国外的每秒5万次!
国产锅盖镜片,反射率为82(国外为70),经过20次反射后,最终能量利用率达189,艾思迈euv只有008。
综合曝光功率,超过了625w,是艾思迈euv的25倍。
至此。
国产euv按理说已经具有了足够的领先优势,完全可以宣布成功,并且将产品投放市场。
“不够,领先这点程度还不够!”
台上的蒲伟才摇着头道“因为光源系统极高的工作稳定性,索性,我们砍掉了复杂程度极高的‘纠偏系统’,再加入一台‘光源系统’,用两台超稳定的光源系统,交替工作,彻底代替纠偏系统,如同按上了两颗强有力的心脏,其可靠性不会比一颗心脏+纠偏系统差多少,并让整个系统大为简化,降低了生产成本。”
“除此之外!”
“两颗心脏如果同时开展工作,同时产生euv光源,那么这台暴龙euv,将进入‘狂暴状态’!”
“狂暴状态下,光刻功率翻倍,加工晶圆的能力翻倍,生产效率陡然翻倍。”
“该状态下,十分钟内加工出的晶圆数量,超过艾思迈euv工作一小时的数量。”
“一台暴龙,胜过六台艾思迈!”
“这就是所谓的狂暴模式!”
哇~
哇哇!
台下惊呼声一片,所有人都起身站了起来。
直播平台的弹幕中,也是一片的“牛逼”
、“卧槽”
、“怎么可能”
、“真这么牛叉”
的评论,无数网友被惊掉一地下巴。
“一台要比六台强,这超出的不是一点点,简直是天顶星科技了!”
龙耀公司的于大嘴坐不住了,都想冲到台上,带走蒲伟才,让他领自己去看看那台暴龙euv了。
“那么那台暴龙euv在那呢?”
这时,台上的蒲伟才接着道“肯定有人问,我刚刚对着ppt讲了那么多技术原理,ppt里吹的那么厉害,真机又在那里呢?我们准备的现货产品呢?”
“不要急,接下来交给工厂,马上开始真机操作展示,进入现场直播环节!”
轰!
所有人都精神一振,不论现场观众还是看直播观众,都全体站立,挺直了脖子。
目光死死盯着正在工厂内部进行的真机演示画面。
。
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